超精密静压主轴《资讯》

发布时间：2020-08-17 12:42:22 阅读：次来源：油封厂家

2016-06-14 20:47:12来源：贤集网

超精密主轴是超精密加工机床关键功能部件之一。一台超精密加工设备的精度高低，很大程度上由其主轴回转精度决定。基于静压支承技术的主轴部件几乎是超精密主轴的唯一选择。静压主轴部件包括气体静压主轴部件和液体静压主轴部件。

由于气/油膜的误差均化作用，故其可以获得极高的回转精度气体静压主轴部件的主要特点在于摩擦功耗极小，主轴可以获得极高的转速，这是液体静压主轴不具有的优点。一般超精密气体静压主轴最高转速可达数万转每分钟，其全速域动态回转精度达到50nm，但刚度和承载能力相对较低。

液体静压轴承一般使用的液体是液压油，其黏度为空气的5000～10000倍，供给压力大，液体静压主轴则可获得大的刚度和承载能力，重载静压主轴刚度可达1000N/μm以上。

但由于受高速运转时油膜的剪切作用，高速时摩擦发热较大，故主轴最高转速相对受到限制。它主要用于高刚度、重载场合，例如超精密磨削主轴、车床主轴等。